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（報(bào)告出品方/作者：興業(yè)證券，李雙亮、王佩麟）

1.1、真空閥：真空系統(tǒng)核心零部件，主要起隔離/控制/傳輸作用

真空的通俗定義指的是空間中的壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力時(shí)的狀態(tài)。 真空閥指的是用在真空系統(tǒng)中的閥門(mén)，其作用通常為隔離真空區(qū)域（如工藝腔室） 或控制氣體進(jìn)出量。由于真空環(huán)境基本貫穿半導(dǎo)體制造過(guò)程始終，因此真空閥在 半導(dǎo)體設(shè)備中也有著普遍而廣泛的應(yīng)用。 真空閥和普通閥門(mén)在類(lèi)型上沒(méi)有本質(zhì)區(qū)別，按作用劃分主要有隔離閥、控制閥 （調(diào)節(jié)閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計(jì)量閥、止回閥等，在半導(dǎo)體設(shè)備的 真空系統(tǒng)中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應(yīng)用較多；其中，隔離閥和控制閥根 據(jù)工作方式又包括閘閥、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等。

具體來(lái)看，隔離閥起隔絕/接通作用，如可用于連接真空泵，在其運(yùn)作與否時(shí)起 到禁止/允許氣體進(jìn)入真空泵系統(tǒng)的作用；控制閥主要起到控制氣體流量和壓力 的作用；傳輸閥則可用于晶圓在腔體之間或腔體和 Load Lock 之間的傳輸。

從實(shí)際應(yīng)用來(lái)看，隔離閥采用最多的主要為角閥和閘閥。 閘閥的啟閉件為閘板，閘板運(yùn)動(dòng)方向與介質(zhì)流動(dòng)方向垂直，通過(guò)閘板的升降可以 起到隔絕/接通作用，通常只作全開(kāi)/全閉狀態(tài)，是隔離閥的理想選擇，而較少用 作控制作用。閘閥可用于腔體和真空泵之間。

角閥的氣體通路通常呈直角，主要可用于真空系統(tǒng)中的排氣管路和抽氣系統(tǒng)等的 連接，如用于主泵（通常為分子泵）和前級(jí)泵（通常為干泵）之間（即前級(jí)管路） 或腔體和前級(jí)泵之間（即粗抽或預(yù)真空管路）。角閥常作為隔離閥，尤其適用于 嚴(yán)苛的環(huán)境下，并具有出色的可靠性，也可具備控制作用。

控制閥用在西安真空腔體和分子泵之間，起到調(diào)節(jié)流量和壓力的作用。控制閥采用最 多的主要為擺閥（鐘擺閥），而蝶閥等也可以起到控制作用。 擺閥的啟閉件通過(guò)如鐘擺般的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)隔離和控制作用，具有設(shè)計(jì)緊湊、 振動(dòng)小、啟閉平穩(wěn)、能有效避免產(chǎn)生顆粒的特點(diǎn)，被廣泛用作控制閥。

蝶閥的閥瓣呈圓盤(pán)形，圍繞其中軸旋轉(zhuǎn)，旋角大小便是閥門(mén)的開(kāi)閉度，既可作為 隔離閥，提供與閘閥同樣可靠的真空隔離的同時(shí)對(duì)占用空間要求較低，適用于緊 湊空間的隔離；又可作為控制閥，實(shí)現(xiàn)快速精確的調(diào)節(jié)。

此外，球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線旋轉(zhuǎn)，球體隨 閥桿轉(zhuǎn)動(dòng)從而達(dá)到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣，從高真空到西安低真空 等均可使用，同時(shí)在帶有腐蝕性介質(zhì)的或者高溫的系統(tǒng)中也均可適用。

傳輸閥是用于連接西安真空腔室的長(zhǎng)方形截面的閥門(mén)，可將物體（如晶圓）從一個(gè)腔 室傳送到另一個(gè)腔室，尤其是在傳輸腔和工藝腔之間需要用到，因此傳輸閥是多 腔室系統(tǒng)的理想選擇。

1.2、真空閥要求嚴(yán)苛，瑞士 VAT 主導(dǎo)市場(chǎng)

真空系統(tǒng)包括各種不同的零部件，如腔體、泵、閥等等，基本都有著嚴(yán)苛的參數(shù) 指標(biāo)要求和較高的研發(fā)生產(chǎn)難度，僅在材料選擇上便需要結(jié)合應(yīng)用、環(huán)境條件及 要實(shí)現(xiàn)的真空度而考慮諸多因素。且還需要進(jìn)行復(fù)雜而精密的焊接、表面處理、 清潔等工藝，都需要行業(yè)中較長(zhǎng)時(shí)間的積累。

而具體到真空閥產(chǎn)品來(lái)看，優(yōu)異的密封性、精確的流量控制、最小的顆粒產(chǎn)生、 最小的振動(dòng)和沖擊、穩(wěn)定性和可重復(fù)性等也都是至關(guān)重要的特性，尤其是在半導(dǎo) 體制造這種對(duì)于工藝環(huán)境的純度、化學(xué)和物理穩(wěn)定性有極高要求的領(lǐng)域，其要求 會(huì)比標(biāo)準(zhǔn)真空閥更高。

據(jù)瑞士 VAT 公司整理，2021 年 VAT 公司占全球半導(dǎo)體真空閥的份額約 75%，假 設(shè) 2022 年其市占率保持穩(wěn)定，結(jié)合公司 2022 年半導(dǎo)體真空閥 7.165 億瑞士法郎 （按 1.05 匯率假設(shè)約為 7.5 億美元），則全球半導(dǎo)體真空閥市場(chǎng)規(guī)模約 10 億美元； 類(lèi)似地，可測(cè)算出全球泛半導(dǎo)體真空閥市場(chǎng)規(guī)模約 12.7 億美元。 真空閥市場(chǎng)格局集中，除了瑞士 VAT 占據(jù)主導(dǎo)地位以外，MKS 公司（美國(guó)）、VTEX（日本）、CKD（日本）、SMC（日本）、Ulvac（日本）等廠商也都占據(jù)一定 的市場(chǎng)份額。

1.3、國(guó)際龍頭梳理

1.3.1、瑞士 VAT 公司

瑞士 VAT 作為全球真空閥龍頭，2022 年實(shí)現(xiàn)收入 11.45 億瑞士法郎，其中閥門(mén)產(chǎn) 品收入9.33億瑞士法郎，服務(wù)收入2.13億瑞士法郎。閥門(mén)產(chǎn)品收入進(jìn)一步劃分， 則半導(dǎo)體為最大下游應(yīng)用，收入為 7.17 億瑞士法郎，其余則為先進(jìn)工業(yè)、顯示& 太陽(yáng)能應(yīng)用。

VAT 公司擁有全面的隔離閥、控制閥、傳輸閥、快速關(guān)閉閥等產(chǎn)品組合，可為各 種應(yīng)用領(lǐng)域提供最佳解決方案，其真空閘閥、角閥、蝶閥、擺閥等產(chǎn)品為各領(lǐng)域 的真空閥解決方案設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。公司在隔離閥、控制閥、傳輸閥都有較高的行業(yè) 地位，尤其是控制閥和傳輸閥領(lǐng)域占據(jù)行業(yè)領(lǐng)先份額。

2.1、半導(dǎo)體工藝設(shè)備供氣和氣路系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵元件

除在真空系統(tǒng)中大量應(yīng)用外，閥門(mén)同樣是半導(dǎo)體行業(yè)高純流體系統(tǒng)中核心的系統(tǒng) 元件，主要起著流體的開(kāi)關(guān)截止、流體的流量調(diào)節(jié)、流體的流向改變等三大作用。 在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備內(nèi)部的氣體管路系統(tǒng)中和半導(dǎo)體工藝設(shè)備的供氣系統(tǒng)中， 均需要大量的高純閥門(mén)參與控制。 其中，供氣系統(tǒng)指的是電子氣體由氣源送往工藝設(shè)備端的系統(tǒng)，具體來(lái)看，電子 氣體先由氣柜（Gas Cabinets）出來(lái)經(jīng)過(guò)分配，然后通過(guò)多功能閥箱/閥盤(pán)（Valve Manifold Boxes/Panels）及二次配閥盤(pán)（Hookup），通往工藝設(shè)備端，在這個(gè)過(guò)程 中的幾個(gè)主要環(huán)節(jié)基本都需要用到閥門(mén)產(chǎn)品。

在這里面，氣柜（Gas Cabinets）為特氣源提供壓力控制和流量監(jiān)測(cè)、并具備更 換氣瓶能力，多功能閥箱則是將特氣分配到不同工藝設(shè)備的裝置，均需用到隔膜 閥、單向閥、調(diào)壓閥等閥門(mén)。此外，F(xiàn)ab 廠中的大宗氣體系統(tǒng)（Bulk Gas）、二次 配閥盤(pán)/盒等也均用到閥門(mén)。

而氣體經(jīng)過(guò)閥箱/閥盤(pán)后，則通過(guò)工藝設(shè)備端內(nèi)的氣路系統(tǒng)通入工藝腔內(nèi)，然后 參與各種晶圓工藝反應(yīng)。具體來(lái)看，半導(dǎo)體工藝設(shè)備內(nèi)部的氣路系統(tǒng)主要由 Gas Box、Gas Box 至反應(yīng)腔的氣路，以及最終進(jìn)入反應(yīng)腔之前的閥門(mén)構(gòu)成，這一氣 路系統(tǒng)內(nèi)同樣會(huì)用到高純閥門(mén)產(chǎn)品。 在這里面，Gas Box 作為半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)的核心組成部分之一，其功能是將各路工 藝氣體集成在一個(gè)空間環(huán)境內(nèi)，并按工藝需求對(duì)不同氣體進(jìn)行傳輸、分配和混合， 對(duì)個(gè)別關(guān)鍵工藝氣體進(jìn)行精確的流量控制，根據(jù)工藝不同步驟的設(shè)定實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝 氣體進(jìn)行開(kāi)關(guān)控制等功能。因此，Gas Box 的功能決定了其內(nèi)部集成了閥門(mén)，包 括隔膜閥、單向閥等。

具體產(chǎn)品來(lái)看，流體系統(tǒng)中常用的閥門(mén)主要有： 隔膜閥，是用橡膠、PTFE 等軟質(zhì)材料制成的隔膜作為啟閉件，把閥體內(nèi)腔和閥 蓋內(nèi)腔隔開(kāi)的閥門(mén)，通過(guò)操作機(jī)構(gòu)控制隔膜的移動(dòng)便可以達(dá)到隔絕和調(diào)節(jié)作用。 隔膜閥的優(yōu)點(diǎn)在于，閥蓋、閥桿等零件與介質(zhì)通路隔開(kāi)，因此零件不會(huì)受到介質(zhì) 侵蝕和沖擊，且不會(huì)發(fā)生介質(zhì)內(nèi)漏；同時(shí)，隔膜閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于維修和更換； 且隔膜和閥體均可以采用不同材料，能理想控制多種工作介質(zhì)，尤其適合帶化學(xué) 腐蝕性或懸浮顆粒的介質(zhì)。

調(diào)壓閥（Regulators）可以把從鋼瓶等來(lái)源排出的氣體或液體的壓力降低到設(shè)備 所需的較低值。調(diào)壓閥有一個(gè)傳感元件（如活塞或隔膜），一側(cè)承受由彈簧或氣 壓施加的力，另一側(cè)承受流體系統(tǒng)承受的力。 其中，減壓調(diào)壓閥通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)閥桿/手柄，對(duì)可調(diào)彈簧進(jìn)行調(diào)整來(lái)設(shè)定所需的出口 壓力；背壓調(diào)壓閥則可設(shè)定所需的進(jìn)口壓力。

單向閥，也稱(chēng)止回閥，是一種使流體保持恒定方向流動(dòng)并防止反向流動(dòng)的閥門(mén)。 流體正向流動(dòng)時(shí)，單向閥的閥瓣被流體壓力推開(kāi)，但反向流動(dòng)時(shí)閥瓣在背壓的作 用下與閥座緊密接觸以防止回流。

波紋管閥，是以波紋管作為閥桿密封元件的閥門(mén)，波紋管和閥桿焊在一起，隨閥 桿而帶動(dòng)閥頭升降，起到啟閉作用。采用波紋管密封結(jié)構(gòu)后，可以將介質(zhì)和大氣 隔離開(kāi)來(lái)，因此有著極佳的密封性，可避免介質(zhì)從閥桿處泄露。 雖然，隨著晶體管的不斷微縮，制造過(guò)程中避免受到污染顯得至關(guān)重要，流體系 統(tǒng)元件逐漸從波紋管閥向結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單、活動(dòng)部件更少、零件與介質(zhì)隔開(kāi)的隔膜閥 發(fā)展，但波紋管閥憑借絕佳的密封性也仍有用武之地。

2.2、流體系統(tǒng)閥門(mén)要求更顯嚴(yán)苛，美國(guó)廠商占據(jù)重要地位

流體系統(tǒng)對(duì)閥門(mén)有著極為嚴(yán)苛的要求，包括潔凈度要求高、材質(zhì)純度要求高、應(yīng) 對(duì)腐蝕和快速吹掃無(wú)殘留要求高、流體控制精度要求高等。比如，由于半導(dǎo)體工 藝設(shè)備需要大量工藝氣體參與反應(yīng)，其中氯化氫、三氯化硼、溴化氫等均具有強(qiáng) 腐蝕性，管路和閥門(mén)很容易腐蝕并進(jìn)而導(dǎo)致泄露等情況，因此對(duì)材料的選擇和其 表面電化學(xué)的處理都有嚴(yán)格要求。

再比如，Gas Box 作為氣路系統(tǒng)的核心部件之一，內(nèi)部包含各種介質(zhì)的控制氣路， 其內(nèi)工藝氣體的響應(yīng)時(shí)間、流量控制對(duì)工藝都起到至關(guān)重要的作用，因此內(nèi)部需 要可靠穩(wěn)定的流體系統(tǒng)元件，高純閥門(mén)需要滿(mǎn)足體積緊湊、滿(mǎn)足 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的泄 露率和潔凈度要求等，部分應(yīng)用下還需要能耐環(huán)境高溫。且，制程演進(jìn)帶來(lái)的變 化是需要使用更多新材料、特殊氣體，對(duì) Gas Box 提出了小型化（尺寸不變情況 下具備更多氣路）、靈活性（氣體管路進(jìn)出口位置有更多選擇）的要求，這其中 也離不開(kāi)對(duì)閥門(mén)的更高要求。

再比如，ALD（Atomic Layer Deposition，原子層沉積）作為當(dāng)下及未來(lái)制程節(jié) 點(diǎn)微縮及復(fù)雜器件幾何形狀上沉積薄層材料的關(guān)鍵技術(shù)，對(duì)流體系統(tǒng)元件也提出 了新的挑戰(zhàn)。部分龍頭廠商如 Swagelok 甚至專(zhuān)門(mén)推出了 ALD 閥門(mén)系列，以應(yīng)對(duì) ALD 對(duì)壽命、耐高溫等方面的要求。 且隨著越來(lái)越多的 High k 材料的引入，ALD 工藝需要系統(tǒng)更低的壓力，更高的 溫度，未來(lái)需要更大的流量（例如閥門(mén) CV 要求普遍在目前流量的 2-3 倍），也會(huì) 需要高純特殊合金材料來(lái)應(yīng)用于閥體。

細(xì)分市場(chǎng)規(guī)模方面，據(jù) LP information 統(tǒng)計(jì)，2022 年全球半導(dǎo)體閥門(mén)（含真空閥， 但不含調(diào)壓閥 regulators）市場(chǎng)規(guī)模約 20.9 億美元，其中隔膜閥市場(chǎng)占比較大， 規(guī)模約 5.2 億美元，而如前所述各類(lèi)真空閥市場(chǎng)規(guī)模約 10 億美元，其余則為單向 閥等產(chǎn)品。若在加上流體系統(tǒng)中應(yīng)用較多的調(diào)壓閥的市場(chǎng)，則全球半導(dǎo)體閥（含 調(diào)壓閥）會(huì)比 20.9 億美元要再高出不少。 而在行業(yè)的主要參與者方面，除了 VAT、MKS 等廠商在真空閥市占率較高外， Swagelok（美國(guó)）、Fujikin（日本）、Parker Hannifin（美國(guó)）等廠商在流體系統(tǒng) 中的隔膜閥、調(diào)壓閥等產(chǎn)品有著較高的市場(chǎng)地位。

2.3、全球龍頭廠商梳理

2.3.1、Swagelok

美國(guó) Swagelok（世偉洛克）公司成立于 1947 年，目前是一家年銷(xiāo)售額約 20 億美 元的私營(yíng)企業(yè)，致力于為油氣、化工、半導(dǎo)體、清潔能源等各個(gè)行業(yè)提供流體系 統(tǒng)產(chǎn)品、組裝和服務(wù)。公司提供閥門(mén)、調(diào)壓閥、接頭、軟管、卡套管及卡套管附 件、壓力表和其他測(cè)量裝置、過(guò)濾器、焊接系統(tǒng)、檢漏液、潤(rùn)滑劑、密封劑、快 速接頭、機(jī)械密封支持系統(tǒng)、取樣系統(tǒng)、分析子系統(tǒng)以及微型模塊化系統(tǒng)等產(chǎn)品。

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)，Swagelok可提供閥門(mén)、調(diào)壓閥、接頭、軟管和柔性卡套管、過(guò) 濾器、焊接系統(tǒng)、彎管器等產(chǎn)品和服務(wù)。尤其是在半導(dǎo)體制造所需的超高純 （UHP）閥門(mén)方面，Swagelok具備多種型號(hào)的隔膜閥、波紋管密封閥、單向閥、 調(diào)壓閥、ALD 閥等產(chǎn)品，為半導(dǎo)體流體系統(tǒng)提供全面高質(zhì)量的解決方案，是半 導(dǎo)體流體系統(tǒng)閥門(mén)的全球領(lǐng)先供應(yīng)商之一。

2.3.2、Fujikin

日本 Fujikin（富士金）公司成立于 1930 年，在以閥門(mén)為核心的超精密流體控制 系統(tǒng)方面處于行業(yè)領(lǐng)先地位，涵蓋半導(dǎo)體、太空開(kāi)發(fā)、氫能利用、制藥和食品、 鋰電池等多個(gè)領(lǐng)域。公司截至 2022 年 3 月 31 日的財(cái)年收入約為 1707 億日元（約 合人民幣 80+億元）。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，F(xiàn)ujikin 可提供的產(chǎn)品主要包括： 閥門(mén)產(chǎn)品，如隔膜閥、單向閥、波紋管閥等各種閥門(mén)；接頭產(chǎn)品；流體系統(tǒng)，包 括 IGS（Integrated Gas System，集成氣體系統(tǒng)）、FCS（Flow Control System，流 量控制系統(tǒng)）等。

3.1、國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商成長(zhǎng)空間巨大，零部件國(guó)產(chǎn)替代正當(dāng)時(shí)

存儲(chǔ)廠短期擴(kuò)產(chǎn)部分受限，中長(zhǎng)期產(chǎn)能提升空間巨大。美國(guó)在 2022 年 10 月公布 了對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步制裁，其中重點(diǎn)新增限制了存儲(chǔ)先進(jìn)制程的制造能 力。長(zhǎng)江存儲(chǔ)和長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)是國(guó)內(nèi)在存儲(chǔ)芯片 3D NAND、DRAM 領(lǐng)域各自的代表 廠商，經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)積累后，長(zhǎng)江存儲(chǔ)已經(jīng)實(shí)現(xiàn) 232L 3D NAND 工藝的量產(chǎn)， 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)已經(jīng)實(shí)現(xiàn) 19nm DRAM 工藝的量產(chǎn)，其中，尤其主要是長(zhǎng)江存儲(chǔ)在被限 制后短期擴(kuò)產(chǎn)確實(shí)受到一定影響。但國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)廠商產(chǎn)能在全球占比依然極小，和 國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求嚴(yán)重不匹配，中長(zhǎng)期來(lái)看產(chǎn)能提升空間十分巨大。

邏輯先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)受限，成熟制程擴(kuò)產(chǎn)確定性依然較強(qiáng)。中芯國(guó)際自 2020 年被 美國(guó)加入實(shí)體清單后，戰(zhàn)略方向逐漸向成熟制程擴(kuò)產(chǎn)傾斜，本次限制節(jié)點(diǎn)對(duì)其并 無(wú)進(jìn)一步影響。中芯國(guó)際 2021 年以來(lái)先后發(fā)布公告將分別在北京、深圳、上海、 天津加大投資進(jìn)行成熟制程擴(kuò)產(chǎn)，且 2022 年業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上重申了擴(kuò)產(chǎn)的意志和 決心，對(duì) 2023 年資本開(kāi)支也給出了和 2022 年高基數(shù)相當(dāng)?shù)闹敢?，因此預(yù)計(jì)中芯 國(guó)際未來(lái) 2-3 年擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏和資本開(kāi)支依然會(huì)較為樂(lè)觀。

自主可控持續(xù)推進(jìn)，國(guó)產(chǎn)化比例有望快速提升。美國(guó)不斷加深對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 的限制，并拉攏日本和荷蘭也跟進(jìn)限制，但從目前限制的實(shí)際范圍和力度來(lái)看不 必過(guò)于悲觀。以尤為關(guān)鍵的光刻機(jī)環(huán)節(jié)為例，據(jù) ASML官網(wǎng)公布，在具體細(xì)則出 臺(tái)之前，公司自己將會(huì)受到出口管制的“最先進(jìn)工具”定義為 TWINSCAN NXT： 2000i 及之后的浸沒(méi)式光刻機(jī)，而不被限制的 1980 Di 已經(jīng)可以滿(mǎn)足邏輯成熟制程 和 3D NAND 先進(jìn)制程需求。 而且，限制的不斷加深進(jìn)一步凸顯了自主可控的重要性和緊迫性，國(guó)內(nèi)晶圓廠存 儲(chǔ)廠近年在擴(kuò)產(chǎn)過(guò)程中正逐漸提升產(chǎn)線中設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化比例，預(yù)計(jì)未來(lái)會(huì)進(jìn)一步 較快提升。因此，國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商國(guó)產(chǎn)化空間依然較大，在國(guó)產(chǎn)化加速下仍有望保 持較快增長(zhǎng)。

2021 年全球千億美元的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，中國(guó)大陸地區(qū)市場(chǎng)規(guī)模約為 296 億美 元，但其中有較多來(lái)自于外資企業(yè)。我們預(yù)計(jì)，隨著大陸本土晶圓廠持續(xù)快速擴(kuò) 產(chǎn)，以及外資晶圓廠由于各種因素導(dǎo)致在大陸擴(kuò)產(chǎn)投資趨于萎縮，中長(zhǎng)期來(lái)看大 陸地區(qū)的設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將主要由本土晶圓廠采購(gòu)形成，且自主可控大勢(shì)所趨下設(shè) 備整體國(guó)產(chǎn)化率有望達(dá)到顯著較高級(jí)別，對(duì)應(yīng)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化空間巨大。

更為重要的是，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商在快速成長(zhǎng)的同時(shí)，也在積極尋求上游供應(yīng)鏈的自 主可控，零部件國(guó)產(chǎn)替代浪潮已然掀起。目前半導(dǎo)體零部件供應(yīng)格局以海外廠商 為主，國(guó)內(nèi)自給率較低，既因產(chǎn)業(yè)壁壘高、市場(chǎng)碎片化，也因?yàn)閲?guó)內(nèi)下游半導(dǎo)體 設(shè)備產(chǎn)業(yè)不發(fā)達(dá)，國(guó)內(nèi)零部件廠商缺乏技術(shù)基礎(chǔ)、發(fā)展性?xún)r(jià)比不高。

3.2、半導(dǎo)體閥門(mén)國(guó)產(chǎn)替代方興未艾，尤其流體閥門(mén)國(guó)產(chǎn)化空間極大

當(dāng)前趨勢(shì)下美國(guó)不斷加大對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的限制，尤其是半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口受到明顯影響，而作為半導(dǎo)體設(shè)備上游的零部件環(huán)節(jié)，其供應(yīng)穩(wěn)定性也在逐漸面臨越 來(lái)越大的風(fēng)險(xiǎn)，因此設(shè)備廠商對(duì)于零部件自主可控的緊迫性也愈發(fā)凸顯。 而從當(dāng)前的國(guó)產(chǎn)化情況來(lái)看，目前國(guó)內(nèi)晶圓廠產(chǎn)線中半導(dǎo)體閥門(mén)的采購(gòu)仍較大程 度上依賴(lài)于海外廠商。具體來(lái)看，真空閥市場(chǎng)主要由瑞士VAT主導(dǎo)，流體閥主要 由美國(guó) Swagelok、美國(guó) Parker Hannifin、日本 Fujikin 等廠商主導(dǎo)，相對(duì)來(lái)說(shuō)流體 閥要求更為嚴(yán)苛、且美廠主導(dǎo)格局下國(guó)產(chǎn)替代緊迫性尤為明顯。而國(guó)內(nèi)已有廠商 具備良好國(guó)產(chǎn)替代基礎(chǔ)，如新萊應(yīng)材已在閘閥等多種真空閥產(chǎn)品對(duì)國(guó)內(nèi)主流客戶(hù) 實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化供應(yīng)，在隔膜閥等氣體閥也已實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售突破并迎來(lái)快速放量。

3.3、優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)廠商梳理

3.3.1、新萊應(yīng)材

新萊應(yīng)材于 1991 年成立于中國(guó)臺(tái)灣，于 2000 年總部遷至昆山，2011 年深交所上 市。公司最初主營(yíng)業(yè)務(wù)為應(yīng)用于食品、生物醫(yī)藥、泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的潔凈應(yīng)用材料 和高純及超高純應(yīng)用材料業(yè)務(wù)，其后通過(guò)外延并購(gòu)方式拓展了應(yīng)用于食品飲料領(lǐng) 域的無(wú)菌包材及灌裝機(jī)業(yè)務(wù)。

公司業(yè)務(wù)按下游可以劃分為三個(gè)主要領(lǐng)域： 泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，產(chǎn)品為高純及超高純應(yīng)用材料，主要包括真空系統(tǒng)（高/超高真 空的法蘭、管件、閥、腔體等）和氣體系統(tǒng)（超高純管道管件、閥等）； 生物醫(yī)藥領(lǐng)域，產(chǎn)品包含管路系統(tǒng)、無(wú)菌閥門(mén)、無(wú)菌泵、管式換熱器、過(guò)濾器等； 食品安全領(lǐng)域，產(chǎn)品分為無(wú)菌包材、無(wú)菌紙盒灌裝機(jī)、潔凈材料（如管路系統(tǒng)、 衛(wèi)生級(jí)閥門(mén)、衛(wèi)生級(jí)泵）等。

目前公司下游應(yīng)用中食品類(lèi)占比最高，2022H1高達(dá)50.5%，其中無(wú)菌包材和食品 設(shè)備分別占 38.7%和 6.3%，其余產(chǎn)品則主要為潔凈應(yīng)用材料；而醫(yī)藥類(lèi)（產(chǎn)品主 要為潔凈應(yīng)用材料）占比 23.6%；泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)（產(chǎn)品為高純及超高純應(yīng)用材料） 占比 25.9%。

新萊應(yīng)材在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)主要包括真空產(chǎn)品（真空法蘭、管件、閥、腔體等） 和氣體產(chǎn)品（管道管件、接頭、閥等），具體來(lái)看： 公司真空系列的品牌名為“AdvanTorr”，產(chǎn)品主要包括高真空和西安超高真空的法蘭、 管件、鋼瓶、傳輸閥、鋁合金閘閥、閘閥、角閥、腔體、加熱帶、視窗、無(wú)氧銅 墊片等。公司產(chǎn)品選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料，可用于半導(dǎo)體、顯示、LED、薄膜太陽(yáng) 能電池、氫能源、鋰電、科研機(jī)構(gòu)等領(lǐng)域，主要應(yīng)用于薄膜技術(shù)（蒸發(fā)、濺射、PECVD、MOCVD、ALD 等），并覆蓋表面分析技術(shù)和離子注入系統(tǒng)。

而在氣體產(chǎn)品，公司“NanoPure”品牌產(chǎn)品主要包括超高純管道＆管件、面密封 接頭（VCR）、微型管道、卡套接頭、減壓閥、超高純隔膜閥、卸荷閥、微粒過(guò) 濾器、止回閥、針閥、球閥等，并在積極拓展新產(chǎn)品。

半導(dǎo)體真空系統(tǒng)和氣體系統(tǒng)均是國(guó)產(chǎn)化率較低、競(jìng)爭(zhēng)格局較好的細(xì)分行業(yè)，新萊 應(yīng)材作為國(guó)內(nèi)在兩個(gè)行業(yè)都處于領(lǐng)先地位的優(yōu)質(zhì)廠商，在行業(yè)有著多年的積累和 經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品品類(lèi)齊全，客戶(hù)方面更是和 AMAT、Lam Research、北方華創(chuàng)等海內(nèi) 外設(shè)備龍頭以及長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等海內(nèi)外知名 fab 廠都有多年的良好合作關(guān) 系。公司在真空閥領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)較好的國(guó)產(chǎn)替代基礎(chǔ)，而對(duì)部分氣體閥等產(chǎn)品的供 應(yīng)屬?lài)?guó)內(nèi)稀缺，，預(yù)計(jì)將是細(xì)分領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)替代的排頭兵，未來(lái)成長(zhǎng)空間巨大。 此外，新萊應(yīng)材還積極拓展開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，在真空系統(tǒng)方面開(kāi)拓真空泵產(chǎn)品，在氣 體系統(tǒng)方面開(kāi)發(fā) MFC、過(guò)濾器等產(chǎn)品，完善公司業(yè)務(wù)布局，可為下游客戶(hù)提供 更為全面完整的服務(wù)，有望增強(qiáng)公司競(jìng)爭(zhēng)力，并進(jìn)一步打開(kāi)公司成長(zhǎng)天花板，成為公司未來(lái)新的增長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)點(diǎn)。

3.3.2、晶盛機(jī)電

晶盛機(jī)電主營(yíng)業(yè)務(wù)產(chǎn)品為應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)上游晶體生長(zhǎng)及加工 設(shè)備，并基于多年來(lái)對(duì)硬脆晶體材料生長(zhǎng)及加工技術(shù)和工藝的理解，延伸布局至 藍(lán)寶石材料、碳化硅材料以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈核心的輔材耗材，如石英坩堝、金剛線、 精密零部件等領(lǐng)域。公司業(yè)務(wù)涉及半導(dǎo)體、光伏設(shè)備領(lǐng)域以及半導(dǎo)體材料細(xì)分領(lǐng) 域的藍(lán)寶石材料和碳化硅材料等。 精密零部件領(lǐng)域，晶盛機(jī)電建立了以半導(dǎo)體閥門(mén)、管件、磁流體等精密零部件產(chǎn) 品體系，以配套半導(dǎo)體和光伏設(shè)備所需關(guān)鍵零部件及需求，保障供應(yīng)鏈的穩(wěn)定和 安全。其中在閥門(mén)產(chǎn)品方面，晶盛機(jī)電子公司與日本 Primet 合作，于 2022 年 4 月實(shí)現(xiàn)首批隔膜閥產(chǎn)品的認(rèn)證通過(guò)及量產(chǎn)，客戶(hù)包括中芯集成、七星流量計(jì)、 AMAT、TEL 等。

3.3.3、九天真空

九天真空成立于 2002 年，是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，中國(guó)真空行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)。公司 主要業(yè)務(wù)以真空閥、薄膜規(guī)、真空部件、真空系統(tǒng)集成為主的四大核心業(yè)務(wù)，自 主研發(fā)真空系列產(chǎn)品數(shù)千余種，是國(guó)內(nèi)產(chǎn)品線齊全的真空技術(shù)企業(yè)。九天真空的 產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、半導(dǎo)體、電子通訊、新材料、新能源、人工智能、生 物醫(yī)療等各國(guó)家戰(zhàn)略性支柱行業(yè)，累計(jì)服務(wù)客戶(hù)上萬(wàn)家。 九天真空承擔(dān)了科技部、工信部、發(fā)改委重大扶持項(xiàng)目 5 個(gè)，承擔(dān)國(guó)家集成電路 02 重大專(zhuān)項(xiàng) 3 個(gè)，其中包括“高真空變通導(dǎo)擺動(dòng)插板閥”等項(xiàng)目。在真空閥產(chǎn)品方面，九天真空可提供插板閥（閘閥）、翻板閥（蝶閥）、調(diào)節(jié)閥、擋板閥（角 閥）、充氣閥等產(chǎn)品。

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