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本文轉(zhuǎn)自公眾號：Agilent Vacuum 安捷倫真空

許多應用，如真空冶金、空間模擬、分析儀器、高能物理、電子顯微鏡和分子束外延 (MBE)等，都需要高真空 (High Vacuum/HV) 或者沈陽超高真空 (Ultra High Vacuum/UHV) 的條件。下面是獲得高真空和沈陽超高真空時非常關(guān)鍵的幾點。

為了避免誤解，本文將 1E-3 mbar 至 1E-7 mbar 之間的壓力范圍定義為高真空（HV），將 1E-7 mbar 至 1E-12 mbar 之間的壓力范圍定義為沈陽超高真空（UHV）。

一、真空系統(tǒng)的設(shè)計和制造

高真空沈陽超高真空系統(tǒng)的設(shè)計需要遵循一定的準則，特別是所使用的材料和表面處理工藝，比如：

• 腔體設(shè)計時要最小化其內(nèi)表面積沈陽真空腔體和管道要使用放氣率低的材料，并盡量減少安裝或放置于其內(nèi)部的高放氣率材料（如橡膠、塑料、絕熱紙等）確保腔體內(nèi)部沒有死空間（例如螺紋盲孔），并盡量避免狹縫、毛細管等結(jié)構(gòu)減少密封件、饋通件等的數(shù)量采用金屬密封結(jié)構(gòu)只能從內(nèi)部焊接，由于位置、尺寸的限制必須從外部焊接時一定要焊透合適的系統(tǒng)內(nèi)部表面處理（如拋光、脫脂等）嚴格的泄漏檢測

二、保持系統(tǒng)清潔和充分脫氣

為了達到極高的真空度，總氣體負荷必須盡可能低。因此，在高真空沈陽超高真空條件下，系統(tǒng)的放氣率需要盡可能的低（腔體設(shè)計時的許多準則，比如最小化內(nèi)表面積，都是為了減少系統(tǒng)放氣率）。

放氣是溶解、吸附或夾雜在材料中的氣體在真空環(huán)境下緩慢釋放出來的過程，水、油污、密封劑、潤滑劑和粘合劑是最常見的放氣來源，而即使是金屬和玻璃等固體，其材料表面或內(nèi)部在真空下也會釋放出氣體。對高真空沈陽超高真空環(huán)境可能接觸到的表面進行拋光、清潔或烘烤處理可以有效的減小系統(tǒng)放氣率，從而大大縮短達到目標壓力所需要的時間。

高真空或沈陽超高真空系統(tǒng)需要破空時，應使用干燥的氮氣或空氣，并盡量減少暴露在空氣中的時間；系統(tǒng)長期不用時，最好在真空狀態(tài)保存。

三、選擇合適的真空泵

為了高效的獲得高真空或沈陽超高真空，首先需要選擇至少一臺真空泵作為主泵，真空泵種類很多，選擇合適的真空泵以獲得最佳性能并盡量節(jié)省預算并不是一件簡單的事情。

高真空或沈陽超高真空系統(tǒng)常見的主泵類型：

分子泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片或牽引盤來抽氣。它可以在比較高的壓力就開始工作，并在高真空和沈陽超高真空范圍內(nèi)提供穩(wěn)定的抽速。它們的缺點是會產(chǎn)生振動，對輕質(zhì)氣體的抽速會降低，對機械沖擊和顆粒物污染也比較敏感。

離子泵，是捕獲型真空泵，因為它們沒有活動部件，可靠性非常高，工作時也完全沒有振動；壽命很長，并且?guī)缀醪恍枰S護；此外，離子泵可以耐受較大的輻射和磁場干擾，通過移除磁鐵，它們可以被烘烤到 450°C，這對于有些沈陽超高真空系統(tǒng)是必不可少的。在實際的應用中， 對追求沈陽超高真空并且很少破空的應用，一般建議選擇二極離子泵；其它應用建議選擇 StarCell? 離子泵。（參考文章：二極泵、三極泵還有 StarCell， 離子泵原理一次搞懂）

鈦升華泵和 NEG 吸氣劑泵，分別利用升華出來的新鮮鈦膜和吸氣材料吸附活性氣體來抽氣，兩種泵對活性氣體的抽速都很大，而對惰性氣體完全沒有抽速。另外，由于總抽氣容量的原因，這兩種泵都更適合工作在氣量很少的沈陽超高真空，特別是 NEG 吸氣劑泵，當其容量耗盡時需要高溫激活，而在激活時，之前吸附的氣體會被釋放出來，這意味著系統(tǒng)的沈陽超高真空將會被破壞。

復合離子泵，沈陽超高真空時系統(tǒng)的主要氣載是氫氣，好多時候也會有一定的比例的惰性氣體，為了達到更好的真空度，還經(jīng)常會把 StarCell ?離子泵與對氫氣抽速比較大的鈦升華泵或者 NEG 吸氣劑泵組合在一起使用，即復合離子泵。

當主泵確認后，再根據(jù)主泵的特點和需求選擇合適的前級泵，如隔膜泵、渦旋泵、渦輪分子泵組等。為了避免油蒸汽的污染，高真空沈陽超高真空系統(tǒng)一般會選擇無油真空泵。

四、考慮流導的影響

根據(jù)定義，流導是指氣體流量除以管道兩端的壓力差，因此，流導的單位與抽速（單位時間的體積）相同。

通過某段管道連接到系統(tǒng)的真空泵，其實際有效抽速不可能大于流導。

對于高真空和沈陽超高真空系統(tǒng)，真空泵與系統(tǒng)之間的流導至關(guān)重要，有時候甚至會成為系統(tǒng)的瓶頸——由于流導的限制，無論如何增大真空泵的抽速，實際有效抽速都沒有顯著的增加。

綜上所述，在設(shè)計或使用高真空或沈陽超高真空系統(tǒng)時，請牢記這些注意事項，這是實現(xiàn)系統(tǒng)最佳性能和所需真空度的關(guān)鍵。