真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。

真空度的劃分

一、液環(huán)真空泵

液環(huán)泵的原理

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液環(huán)真空泵是一種粗真空泵，是帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的旋轉變容真空泵。金屬腔體

在圓形泵體（A）內，在相對于泵體中心線為偏心的軸上裝有一個葉輪（B），轉動的葉輪的離心作用迫使工作液通過通道（D）流向腔體周邊形成環(huán)流（C），泵起作用時，被輸送的氣體混合物經過中間板（E）上的吸入口（H）進入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環(huán)內徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內，當葉輪轉動時，葉輪葉片浸沒在液環(huán)中的程度增加，而使液環(huán)和葉輪葉片根部之間的容積減少，結果是氣體混合物受到壓縮，直至到達中間板中（K）的排放口（J），氣體混合物通過排放口排出。

在壓縮循環(huán)過程中，熱傳遞到液環(huán)，為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點以下，必須進行冷卻。通過連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來達到冷卻的目的。添加的工作液量與經過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等，氣體混合物和工作液最終經過泵出口進行分離。

液環(huán)泵的應用

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紙漿和紙張生產中的應用：黑液蒸發(fā)、粗漿洗漿機、石灰泥漿和過濾器、沉淀物過濾器、真空脫水機、原料和白水除氣系統(tǒng)、調漿箱壓縮機、吸水箱、伏輥、吸移輥和傳遞輥、真空壓榨、毛布吸水箱、防吹箱。

塑料行業(yè)中的應用：擠出機除氣、定型臺 (剖面)、EPS 發(fā)泡、干燥、氣動輸送裝置、氯乙烯氣體抽取和壓縮。

器械中的應用：蒸汽滅菌、呼吸裝置、氣褥、防護服、牙科儀、中央真空系統(tǒng)。

食品和飲料行業(yè)中的應用：鮭魚清潔機、礦泉水除氣、色拉油及脂肪除臭、茶葉和調味品殺菌、香腸火腿生產、煙草制品濕化、真空蒸發(fā)器。

其他行業(yè)的應用等。

二、爪式真空泵

爪式泵的原理：

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爪型干式無油真空泵在泵腔內具有若干組相互嚙合的爪型轉子。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結構采用多級轉子竄連的形式，每組轉子分別位于不同泵腔做同步反方向運動。泵腔被爪型轉子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉子連續(xù)運轉，進行循環(huán)的吸氣排氣過程，實現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

爪式泵的應用

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石化行業(yè)：

能抽除酸性氣體:如四氫呋喃等；能抽除可凝性氣體：如酒精、汽油等；能抽除易燃易爆氣體：如氧氣、氫氣、甲烷等；防腐系列能抽除強酸性氣體：如氯化氫氣體、氟化氫氣體、硫酸氣體等。

醫(yī)藥行業(yè)：

結晶、蒸餾、升華、干燥、脫臭、聚合、真空蒸發(fā)、負壓過濾、單體回收、吸附/脫附、物料輸送腐、蝕性介質、環(huán)氧乙烷消毒等。

食品行業(yè)：升華、干燥、脫水、真空蒸發(fā)、真空保鮮、真空包裝等。

冶金行業(yè)：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。

其他行業(yè)的應用等。

三、螺桿真空泵

螺桿泵的原理

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螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境等。

螺桿泵的應用

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螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領域。在半導體工業(yè)中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。應用范圍極為廣泛。

四、羅茨泵

羅茨泵的原理

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羅茨泵在泵腔內，有二個"8"字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內金屬腔體壁之間，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的應用

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羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，在國內大力推廣和應用。同時羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及食品、醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面，同時在冶煉、石油化工、電工、電子、包裝等行業(yè)得到了普遍的運用。