特性メリット
8/12インチウエハ接著剤塗布に対応。
ウエハの流れと作業(yè)の全過程で溫度を正確に管理し、自動(dòng)的に校正し、Underfillプロセスのニーズを満たすと同時(shí)に、製品安全を確保します。
製品の流れ、作業(yè)過程の観察と問題點(diǎn)の追跡分析を容易にするために、全過程でビデオ監(jiān)視を行います。
レベル100防塵(清浄度クラス100クリーンルーム、一部はクラス10)で、ウエハレベルパッケージ環(huán)境の要求に適合
ESD対策は國際IEC、ANSI規(guī)格に準(zhǔn)拠。
システム構(gòu)成
作業(yè)フロー